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“這是我們在原子級製造領域取得的一項達到國際領先水準的成果。這套系統能夠‘看’到並操縱原子。”中科艾科米（北京）科技有限公司（簡稱中科艾科米）市場總監龔金華指著展品介紹。
昨天，原子級製造“院士專家城市行”活動北京站創新發展研討會在懷柔科學城舉行。活動現場，一台閉迴圈無液氦低溫掃描探針顯微鏡系統模型吸引了不少嘉賓駐足。指揮這臺顯微鏡的，就是中科艾科米聯合中國科學院物理研究所研製的智慧掃描探針顯微成像控制系統。
“這套系統就相當於掃描探針顯微鏡的‘大腦’，專門用來指揮現場展示的這臺精密儀器，完成原子級製造。”龔金華表示，過去這類高端控制系統長期依賴進口，如今這一局面被打破。“它不僅能夠精準控制掃描探針顯微鏡，讓科研人員借此‘看’到原子、操縱原子，還可接入智慧演算法，未來有望讓部分實驗步驟自動完成。”
從能夠觀察原子尺度結構的顯微設備，到為航太器加工高精度部件，原子級製造的應用空間正在打開。
所謂原子級製造是指通過對原子的規模化精準操控，將製造過程的可控精度提升至單個原子或其基元（如原子團簇、原子層）的水準。“原子級”的空間尺度通常指0.1奈米到1奈米的範圍。
現場，圍繞原子級製造“設計、構築、加工、檢測”四個關鍵環節的十大産品成果發佈。這十大産品成果包括：原子級模擬至介觀尺度的機器學習力場、單層晶圓可控化學氣相沉積（CVD）製備裝備、原子製造的范德華擠壓技術、基於定向組裝的原子級構築技術、原子級晶圓拋光技術與裝備、晶圓原子精度製造核心裝備、原子力顯微成像、智慧掃描探針顯微成像控制系統、原子層鍵合讓二維半導體“無縫對接”工業應用、應用於晶圓與二維材料的原子級拉曼品質分析技術。
除了展示産品，大會還發佈了一批面向産業需求的典型應用場景，涵蓋積體電路原子級工藝與裝備、半球諧振陀螺高效率原子級修調技術等領域。
半球諧振陀螺（HRG）是下一代高精度慣性導航的核心器件，也是典型的瓶頸戰略技術。原子級製造不止于“加工更細”，更在於把諧振子從“宏觀合格”推向“微觀無缺陷”，從而抑制長期漂移。
位於懷柔科學城的北京高端精密加工共用服務平臺，以半球諧振子加工為典型應用場景，可依託原子層拋光、離子束等技術，對薄壁球殼進行精細加工，再結合薄膜製備、精密測量和頻差修調，能為導航領域相關器件的工程化應用提供技術支撐。
為何這些技術成果和創新企業青睞北京、集聚懷柔？北京懷柔儀器和感測器有限公司總工程師劉海鋒説，懷柔科學城集聚了大科學裝置、科研團隊和高端科學儀器企業，既有“造儀器”的科學家，也有“用儀器”的科研需求。企業之間還可以圍繞零部件、加工工藝和檢測設備展開協作，産業生態逐漸成形。
當天，北京原子級製造學會籌建工作正式啟動。（張佳琪）
