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離子注入機科研生産條件建設項目效果圖。（經開區供圖）
記者昨天從北京經開區管委會獲悉，落地在經開區的北京積體電路核心裝備創新産業園離子注入機科研生産條件建設項目已突破正負零節點，將在8月底力爭主體結構封頂。項目建成後，預計可實現離子注入機年産能150台，為經開區及本市積體電路産業發展注入強勁動力。
據悉，作為支撐離子注入機技術攻關與産業化發展的重點工程，離子注入機科研生産條件建設項目位於北京經開區興光二街6號，新建裝備生産廠房1棟以及相關配套，主要為滿足離子注入機研發、工藝試製、科研生産保障等空間需要。
項目擬依託北京中科信半導體股份有限公司現有研發體系，搭建國際先進的離子注入機中試研發平臺及規模化生産線，開展全譜係新型離子注入機技術開發、核心模組迭代升級與整機批量生産。建成後，將形成全系列離子注入機産品矩陣，進一步完善經開區及全市積體電路産業生態。
項目自啟動以來，經開區在規劃審批、要素保障、施工協調等環節實現靠前服務，從項目落地到開工建設，各部門主動對接、協同聯動，在手續辦理、資源調度等方面給予支援，為項目推進提速。自今年年初開工以來，面對工期緊、任務重、汛期施工等多重挑戰，項目團隊紮根一線、全力攻堅。地下結構施工期間，項目團隊日均深入基坑駐場3至4輪次，從材料入場到工序交接再到品質驗收，全鏈條跟蹤、全過程把控，截至目前，累計完成各類驗收200余次。
作為首都高精尖産業主陣地，北京經開區已聚集超400家積體電路相關企業，形成了以北方華創、中芯國際、長鑫集電為龍頭，涵蓋設計、製造封測、裝備零部件等環節的積體電路全産業鏈。面向未來，經開區將穩步推進産能升級，以頭部設計企業戰略需求為牽引，全面加強重大項目建設，加快工藝演進迭代，構建從晶片設計、製造到應用的産業生態閉環，形成要素高度集聚、創新高效協同的産業生態體系。
新知
離子注入機：製造電晶體的核心裝備
何為離子注入機？通俗來説，這是晶片工廠裏的一台超高精度的“原子狙擊槍”，是製造電晶體必不可少的核心裝備。如果將硅晶圓想像成一塊純凈的“硅土地”，那麼離子注入機將在這片“硅土地”上進行精準定點“施肥”，把帶電離子高速打進硅片內部。一塊先進晶片，製造全過程需要經歷多次離子注入。因此，CPU（中央處理器）、手機晶片，存儲晶片、光伏晶片等生産線，全都離不開離子注入機。（趙語涵）
