10月11日，由清华大学主办，集成电路高精尖创新中心、启元实验室、智能微系统教育部重点实验室（清华大学）、清华大学微米纳米技术研究中心、北京集成电路产教融合基地（清华）承办的2026智能微系统研讨会在北京怀柔举办。
本届研讨会以“智能微系统：具身赋能，感知无界”为主题，汇聚了来自清华大学、北京大学、北京航空航天大学、华中科技大学、南京理工大学、香港理工大学、西安交通大学等国内顶尖高校，多家国家级实验室、兵器与航天央企院所，以及赛微电子、怀胜集团、汉威科技等行业龙头企业近20位资深专家学者与产业领军者分享最新成果，吸引了近300位来自智能微系统、集成电路、精密传感领域的业内同仁参与其中，共同围绕具身智能感知与执行、跨领域应用创新等议题开展交流研讨。
会上，中共北京市怀柔区委员会书记、怀柔科学城党工委书记张强，中国工程院院士、华中科技大学校长、集成电路高精尖创新中心主任尤政为大会致辞，希望借助本次会议，促进智能微系统技术交流合作与创新发展，持续助力我国智能微系统领域实现更大发展与突破。
中国科学院院士、北京航空航天大学蓝天首席教授郭雷，中国科学院院士、清华大学精密仪器系教授孙洪波，怀柔区委常委、区委办主任季学伟，怀柔科学城党工委委员、科学城管委会副主任、怀柔区政府副区长韩健，北京航空航天大学党委常委、副校长赵巍胜，清华大学先进技术研究院副院长高云峰，启元实验室科研发展部部长邓宁，清华大学集成电路学院院长尹首一等出席会议。
本次研讨会包括开幕式、大会报告、特邀报告、产品推介宣讲等环节。活动先后由清华大学邢飞教授、中国科学院上海微系统与信息技术研究所李铁研究员、中北大学张文栋教授、清华大学赵嘉昊副研究员、东南大学周再发教授主持。
中国科学院院士、清华大学孙洪波教授作题为“智能微系统光电融合与量子化问题”的报告，重点探讨 MEMS 技术与超快激光特种制造技术融合，以飞秒激光非线性光场调控突破光波导互联及量子探测异质集成制造瓶颈，推动智能微系统迈向“光电融合—量子赋能”更高集成形态。
北京航空航天大学赵巍胜副校长作题为“我国磁基芯片与系统产业链发展：十年积累、前景可期”的报告，指出以SOT-MRAM为代表的新一代磁基芯片具备高速、抗辐照特性，在航空航天等严苛环境有重要应用价值，国内经十年积累实现薄膜沉积、刻蚀、测试全链条突破，未来将向多模态集成深化发展。
在特邀报告环节，南京理工大学苏岩教授以“车规 MEMS六轴惯性传感器开发与应用”为题，结合智能辅助驾驶与无人驾驶对高精度定位的需求，介绍了车规级六轴 MEMS 惯性传感器的结构、封装、批量测试标定与量产情况，以及IMU模组和 P-Box 组合导航系统的应用，并展望其在工业领域的应用前景。
华中科技大学陈蓉教授以“从尺寸缩放到精准构筑：原子层沉积的第三个Wave”为题，介绍了选择性原子层沉积与金属ALD技术的研究进展，ASD通过调控表面反应选择性实现指定区域精准生长，为自对准制造和三维集成提供新路径，推动ALD从原子层薄膜走向精准构筑。
香港理工大学于宏宇教授以“面向太空机器人的感知与执行技术：视触觉传感器与MEMS推进器研究进展”为题，介绍了面向在轨服务等太空任务的机器人感知与执行技术，微型视触觉传感器可提升对脆弱物体的操作能力，离子液体电喷雾MEMS推进器比冲高、易模块化，为太空机器人提供精细执行能力。
同济大学程鑫彬教授以“纳米计量赋能的微纳光学及应用”为题，介绍了量子化光晶格常数的纳米计量技术及光栅干涉型计量仪器，并介绍了多层膜与超表面准三维亚波长结构器件、纳米计量赋能的全流程制造等微纳光学研究成果。
哈尔滨工业大学高会军教授以“面向类器官再生的智能显微操控技术与仪器”为题，围绕类器官可控批量再生难题，介绍了类器官生长状态多维感知、细胞显微操作及再生模型智能控制等理论与技术，研制出智能显微操控仪器，推动其在病理研究、药物研发等领域应用。
广州国家实验室徐强研究员以“面向可视化的芯片实验室”为题，介绍了在芯片上搭建微型实验室、实现微观过程可视化的研究，早期发展MEMS原位电镜纳米反应器芯片实现材料动态实时观测，后依托平台逐级实现反应、细胞、病毒的微观可视化。
崂山国家实验室薛晨阳研究员以“MEMS 技术在海洋观测中的应用”为题，面向海洋立体感知与具身智能融合需求，介绍了高精度温盐深仪器、芯片化温盐深仪器及微纳集成方案，并应用于链式观测传感系统，为构建海洋物理智能体提供感知基础。
西安交通大学焦斌斌教授以“基于MEMS的宽量程高精度智能真空计”为题，介绍了集合硅压阻、皮拉尼及硅谐振片结构的宽量程真空传感MEMS芯片，以及据此研发的宽量程高精度智能真空计的研发进展与应用情况。
清华大学赵晓光副教授以“基于MEMS动态调制的成像测量微系统”为题，介绍了基于MEMS的动态调制成像方法，通过芯片级电静力驱动实现图像传感器纳米级稳定微位移，获取亚像素差异多幅图像并经算法融合实现超像素分辨成像，还探讨了动态光场调制超材料超表面器件在光电成像、射频感知等领域的应用。
北京大学卢奕鹏副教授以“面向具身智能的压电MEMS超声感知技术”为题，围绕PMUT器件性能优化、声场调控与系统集成，介绍了其在眼动识别、呼吸监测、流速检测和电池无损检测中的应用，探讨了面向具身智能的芯片级多维超声感知微系统。
清华大学王琛副教授以“基于先进封装的 3D MEMS 芯片技术及应用”为题，以TSV、混合键合、激光键合等先进封装技术为核心，介绍了3D MEMS 芯片集成通用技术，攻克真空气密封装、低温异质键合等工艺难题，并梳理其在特种场景、航空航天、消费电子等领域的应用。
中国电子科技集团王劲松研究员以“微系统标准化的探索实践”为题，介绍了典型微系统的特点与应用中的优缺点，提出将必要单元进行标准化制造的方法，并介绍了在射频、光电等方向开展标准研究的相关成果。
中国兵器工业第二一四研究所仇晨光研究员以“面向具身智能的传感器技术”为题，介绍了姿态传感器、六维力传感器、位置传感器的技术特性与工程应用，并阐述轻量化多传感器融合技术，以解决机器人运动稳定、精准操作、安全交互等核心问题。
在产品推介宣讲环节，怀胜科技服务有限公司副总经理张艳丽介绍了怀柔科学城产业转化示范区的发展布局，展现了园区“研试产用服”五位一体的全方位产业服务能力；北京赛微电子股份有限公司首席科学家陆原以“赛微电子MEMS代工前沿产品成果”为题，展示了MEMS代工领域的前沿产品与成果；中国兵器工业第二一四研究所仇晨光研究员以“中国兵器工业集团安徽北方微电子研究院集团有限公司新产品发布”为主题，重点介绍了相关新产品；启元实验室鲁文帅研究员以“启元实验室智能微系统平台”为题，分享了平台建设进展。
最后，邢飞代表大会组委会致闭幕词。他衷心感谢与会专家、企业家长期以来对智能微系统、智能传感器等领域科研和教学工作的关心与支持；同时提到，本次大会特邀资深学者与产业专家带来精彩报告，不仅深度解读了前沿技术动态，也为产学研协同合作、行业发展方向提供了宝贵的学术指导。后续，希望业界同仁继续努力，持续助力我国智能微系统领域实现更大的发展与突破！
智能微系统研讨会连续三年在怀柔举办。这一持续落地的背后，是智能微系统技术与怀柔高端科学仪器和传感器产业方向的高度契合。
怀柔作为高端科学仪器装备产业集聚区，已规划布局智能传感园、仪器装备园、医学影像和医疗器械园三大特色园区，集聚重点企业400余家，累计突破关键技术120余项。在智能微系统领域，怀柔科学城已建成MEMS中试和微纳系统加工封测平台，智能传感产业园聚焦智能传感、半导体激光器、MEMS器件等细分赛道，并与赛微电子合作推进MEMS中试线建设。
这一生态建设，对智能微系统从实验室走向工程化具有独特优势。未来，怀柔将进一步拓展成果转化产业空间，以智能微系统为纽带，依托中试平台和产业空间，与行业专家建立常态化对接机制，推动更多智能微系统领域的优质项目在怀柔落地转化。
